LATS_Phan Huu Phu_15_01_1982.pdf

Hình 1.17 Sơ đồ thiết kế vi gắp tích hợp cảm biến lực điện dung [97] . ... nén hay ứng suất căng bé, thì lớp phía trên cùng sẽ uốn cong cả hai lớp phía dưới [68].

LATS_Phan Huu Phu_15_01_1982.pdf - Tài liệu liên quan

LATS_Phan Huu Phu_15_01_1982.pdf

Hình 1.17 Sơ đồ thiết kế vi gắp tích hợp cảm biến lực điện dung [97] . ... nén hay ứng suất căng bé, thì lớp phía trên cùng sẽ uốn cong cả hai lớp phía dưới [68].

Tom tat luan an TS_Phan Huu Phu_15_01_1982.pdf

2012, Nguyen Ngoc Viet, Nguyen Minh Ngoc, Phan Huu Phu,. Chu Duc Trinh ... Việc so sánh kết quả giữa các phương pháp đo đạc thực tiễn, tính toán và mô ...